蝕刻加工過程中的精度和側蝕問題介紹

 在蝕刻加工的工藝中，除不經任何防蝕處理的整體蝕刻方法外，都必須要注意防蝕層下蝕刻的“蔓延”問題，也就是我們常說的側腐蝕。側腐蝕的大小直接關系到圖文的精度和蝕刻線條的極限尺寸。通常把防蝕層下的水平方向的蝕刻寬度A稱為側蝕量，側蝕量A與蝕刻深度H的比值就是側蝕率F：

 

蝕刻的精度和側蝕問題介紹

 

F=A/H式中：A為側蝕刻量(mm)，H為蝕刻深度(mm)；F為側蝕刻率或腐蝕因素，用以表示不同條件下側蝕刻量與蝕刻深度之間的關系。

 

以上有關圓弧R的大小受蝕刻深度，被蝕刻窗口的最小寬度與蝕刻深度的比值、蝕刻液的組成、蝕刻方法及材料種類等的影響較大。側蝕刻的量決定了化學蝕刻的精度，側蝕量越小，加工的精度越高，適用的范圍就越寬，反之，加工的精度低，適用范圍小。

側蝕量的大小主要受金屬材料的影響，在常用的幾種金屬材料中，以銅的側蝕量最小，鋁的側蝕量最大。選擇更為優越的蝕刻劑，雖然蝕刻的速度提高并不明顯，但的確可改善金屬蝕刻加工的側蝕量。